中國臺灣漢鐘iPM600螺桿泵維修

IPM半導(dǎo)體中度嚴苛系列 型號有iPM100,iPM600
用途：Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant
特點：綠色制造、全新系列干式真空泵
      體積小、耗功低、大幅度降低成本
      用于中度嚴苛制程的節(jié)能泵

漢鐘PD變距系列干式螺桿真空泵主要特點：
漢鐘螺桿真空泵排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積
hanbell干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵內(nèi)的傳輸路徑最短，最不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象。
漢鐘螺桿真空泵線形密封性佳，泵浦性能佳
Hanbell干式螺桿真空泵，*轉(zhuǎn)子密封線形，轉(zhuǎn)子密封性佳，轉(zhuǎn)子能以較大的嚙合間隙達到更快的抽氣效果，由于漢鐘真空泵的嚙合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。
漢鐘螺桿真空泵結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，維護容易
Hanbell干式螺桿真空泵因只需要利用一對轉(zhuǎn)子相互嚙合達到密封效果，結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計，降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險。且因其結(jié)構(gòu)單純，拆卸維修也比較容易，因此能縮短維修時程，降低維修費用。
漢鐘螺桿真空泵微電腦操作，遠端監(jiān)控，保護周全
Hanbell干式螺桿泵微電腦控制器提供真空最簡易的操作方式并能顯示真空泵完整的運轉(zhuǎn)狀態(tài)，方便使用者對泵應(yīng)用狀態(tài)進行調(diào)整，在真空泵產(chǎn)生問題前進行預(yù)防保養(yǎng)。遠端監(jiān)控系統(tǒng)能夠提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場就能夠了解真空泵的運行狀態(tài)。
 
漢鐘螺桿真空泵典型應(yīng)用：
面板TFT-LCD, Touch Panel
太陽能Solar
冶金系統(tǒng)Metallurgical System
鍍膜Coating
電漿制程Plasma processes
干燥處理Drying Process
制程氣體抽取Degassing
生技/制藥Biotech/Pharmaceutical
化工產(chǎn)業(yè)Chemical Industry
鋰電池Battery

PA油螺桿真空泵型號PA350VSD+,PA585VSD+,PA730VSD+,PA900VSD+,PA1300VSD+,PA1600VSD+,PA1900VSD+
PA VSD+系列真空泵是一款節(jié)能，環(huán)保的永磁變頻微油螺桿真空泵。

高效能

得益于變頻驅(qū)動控制，PA VSD+可提供所需的流量而不會過量，避免浪費能源。新型的螺桿型線設(shè)計，性能提升。采用IE4高效永磁電機直接驅(qū)動，的降低功耗。

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